第A04版:科创周刊

微导纳米:深耕关键技术 赋能光伏和集成电路发展

  近日,江苏微导纳米科技股份有限公司斩获国内行业一家头部企业量产高效电池的亿元订单,凭借强大的技术支撑赢得了客户青睐。“微导纳米‘夸父’系列产品及一揽子解决方案采用先进反应腔体设计与薄膜沉积工艺技术,可为高效晶硅太阳能电池表面提供高质量超薄钝化膜。该技术产品能有效提高电池光电转换效率,推动产能进一步提升。”微导纳米副董事长、CTO黎微明说。

  微导纳米成立于2015年,公司以原子层沉积(ALD)技术为核心,专注于先进薄膜沉积装备的开发、设计、生产和服务,业务涉及集成电路、光伏、LED、MEMS等半导体相关领域,以及新能源和柔性电子领域。主要产品为应用于逻辑、存储、3D-IC、化合物等先进制程的半导体ALD设备和技术,应用于柔性电子和新一代高效太阳能电池的薄膜设备及量产解决方案。

  微导纳米深耕国内市场的同时,积极开拓海外市场,目前公司在欧洲及亚太地区均有所布局。“光伏发电性能取决于光电转换的效率,谁能够用更低的成本、更高的效率发电,谁就能成为未来光伏行业的引领者。”黎微明介绍,目前主流的晶体硅太阳能电池光电转换的理论极限约为29.43%,叠层电池技术是国际公认的高效光伏电池技术,而实现该项工艺关键的装备之一便是镀膜装备。

  据了解,受制于技术垄断,中国光伏产业很长一段时间都依赖于从欧美等发达国家大量进口镀膜设备。为推动我国ALD技术产业化,微导纳米攻坚克难,历时近两年磨砺,最终实现了ALD技术在叠层电池方向的量产应用,推动国产核心ALD设备反向走出国门。如今,旗下产品几经迭代,工艺日臻纯熟,已跻身于全球高效电池生产核心设备之一,在同类型产品中市场占有率稳居全球第一梯队。

  微导纳米在集成电路领域的应用同样表现不俗。首台应用于先进节点的ALD装备已通过国内半导体集成电路制造领域某龙头企业验收,设备性能和关键技术指标均已达到国际同类设备水平。

  在关键技术领域的突破,与公司注重人才引进和科技创新密不可分。据了解,微导纳米拥有研发人员近200人,占员工总人数的40%,其核心研发团队获评2020年江苏省双创团队。微导纳米还被认定为江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站、江苏省省级企业技术中心,与上海复旦大学、上海交通大学、南京大学、芬兰赫尔辛基大学、澳大利亚新南威尔士大学等知名院校建立了良好的合作关系,共同推进 ALD 技术的创新发展。截至目前,公司已取得九十余项专利授权。

  “我们还专门成立了产业化应用中心,它是一个真正的创新中心,通过这个中心,不断开发一些创新性的材料工艺和设备技术,从而帮助国内客户在全球市场实现技术的追赶甚至超越。”黎微明说。他表示,希望由政府牵头,国内能够成立一个统筹的研发机构,通过这个平台,让产业链的上下游企业共同研究最先进的技术,实现成果共享,从而提升资源利用效率和产业协同,最终提高产业竞争力。(张安宇)